Microelectronics, MEMS and Nanotechnology
Auteur(s): |
L. Faraone
V. K. Varadan D. L. Pulfrey |
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Médium: | article de revue |
Langue(s): | anglais |
Publié dans: | Smart Materials and Structures, février 2006, n. 1, v. 15 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/15/1/e01 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10223000 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018