Microelectronics, MEMS and Nanotechnology
Autor(en): |
L. Faraone
V. K. Varadan D. L. Pulfrey |
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Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Februar 2006, n. 1, v. 15 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/15/1/e01 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10223000 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018