Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure
| Auteur(s): |
Shigeki Saito
Fumiaki Soda Radon Dhelika Kunio Takahashi Wataru Takarada Takeshi Kikutani |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, janvier 2013, n. 1, v. 22 |
| Page(s): | 015019 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/22/1/015019 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10216797 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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