Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure
| Autor(en): |
Shigeki Saito
Fumiaki Soda Radon Dhelika Kunio Takahashi Wataru Takarada Takeshi Kikutani |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Januar 2013, n. 1, v. 22 |
| Seite(n): | 015019 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/22/1/015019 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10216797 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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