Réalisation de microcaloducs en silicium pour le refroidissement de l'électronique
Author(s): |
Stéphane Launay
(Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon)
Martine Le Berre (Laboratoire Physique de la Matière, UMR CNRS 5511, INSA de Lyon) Valérie Sartre (Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon) Panagiota Morfouli (Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique, UMR 5130, INP Grenoble) Jumana Boussey (Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique, UMR 5130, INP Grenoble) Daniel Barbier (Laboratoire Physique de la Matière, UMR CNRS 5511, INSA de Lyon) Monique Lallemand (Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon) |
---|---|
Medium: | journal article |
Language(s): | French |
Published in: | La Houille Blanche, August 2003, n. 4, v. 89 |
Page(s): | 82-87 |
DOI: | 10.1051/lhb/2003080 |
- About this
data sheet - Reference-ID
10654403 - Published on:
17/02/2022 - Last updated on:
17/02/2022