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Réalisation de microcaloducs en silicium pour le refroidissement de l'électronique

Author(s): (Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon)
(Laboratoire Physique de la Matière, UMR CNRS 5511, INSA de Lyon)
(Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon)
(Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique, UMR 5130, INP Grenoble)
(Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique, UMR 5130, INP Grenoble)
(Laboratoire Physique de la Matière, UMR CNRS 5511, INSA de Lyon)
(Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon)
Medium: journal article
Language(s): French
Published in: La Houille Blanche, , n. 4, v. 89
Page(s): 82-87
DOI: 10.1051/lhb/2003080
Structurae cannot make the full text of this publication available at this time. The full text can be accessed through the publisher via the DOI: 10.1051/lhb/2003080.
  • About this
    data sheet
  • Reference-ID
    10654403
  • Published on:
    17/02/2022
  • Last updated on:
    17/02/2022
 
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