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Réalisation de microcaloducs en silicium pour le refroidissement de l'électronique

Autor(en): (Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon)
(Laboratoire Physique de la Matière, UMR CNRS 5511, INSA de Lyon)
(Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon)
(Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique, UMR 5130, INP Grenoble)
(Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique, UMR 5130, INP Grenoble)
(Laboratoire Physique de la Matière, UMR CNRS 5511, INSA de Lyon)
(Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon)
Medium: Fachartikel
Sprache(n): Französisch
Veröffentlicht in: La Houille Blanche, , n. 4, v. 89
Seite(n): 82-87
DOI: 10.1051/lhb/2003080
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  • Über diese
    Datenseite
  • Reference-ID
    10654403
  • Veröffentlicht am:
    17.02.2022
  • Geändert am:
    17.02.2022
 
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