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Réalisation de microcaloducs en silicium pour le refroidissement de l'électronique

Auteur(s): (Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon)
(Laboratoire Physique de la Matière, UMR CNRS 5511, INSA de Lyon)
(Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon)
(Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique, UMR 5130, INP Grenoble)
(Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique, UMR 5130, INP Grenoble)
(Laboratoire Physique de la Matière, UMR CNRS 5511, INSA de Lyon)
(Centre de Thermique de Lyon, UMR CNRS 5008, INSA de Lyon)
Médium: article de revue
Langue(s): français
Publié dans: La Houille Blanche, , n. 4, v. 89
Page(s): 82-87
DOI: 10.1051/lhb/2003080
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  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10654403
  • Publié(e) le:
    17.02.2022
  • Modifié(e) le:
    17.02.2022
 
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