Fil chaud dans une micro-cavité et capteur de pression en technologie MEMS
| Author(s): |
Delphine Meunier
(Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP), B.P. 257, 38016 Grenoble Cédex 1)
Dimitrios M. Tsamados (Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP), B.P. 257, 38016 Grenoble Cédex 1) Jumana Boussey (Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP), B.P. 257, 38016 Grenoble Cédex 1) Sedat Tardu (Laboratoire des Ecoulements Géophysiques et Industriels (LEGI), B.P. 53 X, 38041 Grenoble Cédex) |
|---|---|
| Medium: | journal article |
| Language(s): | French |
| Published in: | La Houille Blanche, August 2003, n. 4, v. 89 |
| Page(s): | 75-81 |
| DOI: | 10.1051/lhb/2003079 |
- About this
data sheet - Reference-ID
10654405 - Published on:
17/02/2022 - Last updated on:
17/02/2022
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