Fil chaud dans une micro-cavité et capteur de pression en technologie MEMS
| Autor(en): |
Delphine Meunier
(Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP), B.P. 257, 38016 Grenoble Cédex 1)
Dimitrios M. Tsamados (Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP), B.P. 257, 38016 Grenoble Cédex 1) Jumana Boussey (Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP), B.P. 257, 38016 Grenoble Cédex 1) Sedat Tardu (Laboratoire des Ecoulements Géophysiques et Industriels (LEGI), B.P. 53 X, 38041 Grenoble Cédex) |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Französisch |
| Veröffentlicht in: | La Houille Blanche, August 2003, n. 4, v. 89 |
| Seite(n): | 75-81 |
| DOI: | 10.1051/lhb/2003079 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10654405 - Veröffentlicht am:
17.02.2022 - Geändert am:
17.02.2022
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