Fil chaud dans une micro-cavité et capteur de pression en technologie MEMS
| Auteur(s): |
Delphine Meunier
(Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP), B.P. 257, 38016 Grenoble Cédex 1)
Dimitrios M. Tsamados (Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP), B.P. 257, 38016 Grenoble Cédex 1) Jumana Boussey (Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (IMEP), B.P. 257, 38016 Grenoble Cédex 1) Sedat Tardu (Laboratoire des Ecoulements Géophysiques et Industriels (LEGI), B.P. 53 X, 38041 Grenoble Cédex) |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | français |
| Publié dans: | La Houille Blanche, août 2003, n. 4, v. 89 |
| Page(s): | 75-81 |
| DOI: | 10.1051/lhb/2003079 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10654405 - Publié(e) le:
17.02.2022 - Modifié(e) le:
17.02.2022
Structurae coopère avec
