Young s modulus measurements of silicon nanostructures using a scanning probe system: a non-destructive evaluation approach
| Auteur(s): |
Kumar R. Virwani
A. P. Malshe W. F. Schmidt D. K. Sood |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 2003, n. 6, v. 12 |
| Page(s): | 1028-1032 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/12/6/023 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10216220 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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