Young s modulus measurements of silicon nanostructures using a scanning probe system: a non-destructive evaluation approach
Autor(en): |
Kumar R. Virwani
A. P. Malshe W. F. Schmidt D. K. Sood |
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Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 2003, n. 6, v. 12 |
Seite(n): | 1028-1032 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/12/6/023 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10216220 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018