Power consumption benchmark for a semiconductor cleanroom facility system
Auteur(s): |
Shih-Cheng Hu
Jen-Syua Wu David Yih-Liang Chan Rich Tsung-Chi Hsu Jane Car-Cheng Lee |
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Médium: | article de revue |
Langue(s): | anglais |
Publié dans: | Energy and Buildings, janvier 2008, n. 9, v. 40 |
Page(s): | 1765-1770 |
DOI: | 10.1016/j.enbuild.2008.03.006 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10465196 - Publié(e) le:
27.10.2020 - Modifié(e) le:
27.10.2020