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  1. Hu, Shih-Cheng / Wu, Jen-Syua / Chan, David Yih-Liang / Hsu, Rich Tsung-Chi / Lee, Jane Car-Cheng (2008): Power consumption benchmark for a semiconductor cleanroom facility system. Dans: Energy and Buildings, v. 40, n. 9 (janvier 2008).

    https://doi.org/10.1016/j.enbuild.2008.03.006

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