Power consumption benchmark for a semiconductor cleanroom facility system
| Autor(en): |
Shih-Cheng Hu
Jen-Syua Wu David Yih-Liang Chan Rich Tsung-Chi Hsu Jane Car-Cheng Lee |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Energy and Buildings, Januar 2008, n. 9, v. 40 |
| Seite(n): | 1765-1770 |
| DOI: | 10.1016/j.enbuild.2008.03.006 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10465196 - Veröffentlicht am:
27.10.2020 - Geändert am:
27.10.2020
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