Influence of substrate stiffness and of PVD parameters on the microstructure and tension fracture characteristics of TiN thin films
| Auteur(s): |
Felipe C. da Silva
Matheus A. Tunes Julio C. Sagás Cláudio G. Schön |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Procedia Structural Integrity, 2018, v. 13 |
| Page(s): | 658-663 |
| DOI: | 10.1016/j.prostr.2018.12.109 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10642896 - Publié(e) le:
10.01.2022 - Modifié(e) le:
10.01.2022
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