Influence of substrate stiffness and of PVD parameters on the microstructure and tension fracture characteristics of TiN thin films
| Autor(en): |
Felipe C. da Silva
Matheus A. Tunes Julio C. Sagás Cláudio G. Schön |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Procedia Structural Integrity, 2018, v. 13 |
| Seite(n): | 658-663 |
| DOI: | 10.1016/j.prostr.2018.12.109 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10642896 - Veröffentlicht am:
10.01.2022 - Geändert am:
10.01.2022
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