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Influence of substrate stiffness and of PVD parameters on the microstructure and tension fracture characteristics of TiN thin films

Diese Veröffentlichung enthält 21 Literaturhinweise zu anderen Veröffentlichungen:

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  • Reference-ID
    10642896
  • Veröffentlicht am:
    10.01.2022
  • Geändert am:
    10.01.2022
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