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Influence of substrate stiffness and of PVD parameters on the microstructure and tension fracture characteristics of TiN thin films

Cette publication a 21 références bibliographiques :

  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10642896
  • Publié(e) le:
    10.01.2022
  • Modifié(e) le:
    10.01.2022
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