Flexible-CMOS and biocompatible piezoelectric AlN material for MEMS applications
| Auteur(s): |
Nathan Jackson
Lynette Keeney Alan Mathewson |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, novembre 2013, n. 11, v. 22 |
| Page(s): | 115033 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/22/11/115033 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10225265 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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