Flexible-CMOS and biocompatible piezoelectric AlN material for MEMS applications
Autor(en): |
Nathan Jackson
Lynette Keeney Alan Mathewson |
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Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, November 2013, n. 11, v. 22 |
Seite(n): | 115033 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/22/11/115033 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10225265 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018