Evaluation of electromechanical properties and field concentrations near electrodes in piezoelectric thick films for MEMS mirrors by simulations and tests
| Auteur(s): |
Fumio Narita
Yasuhide Shindo Koji Sato |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Computers & Structures, juin 2011, n. 11-12, v. 89 |
| Page(s): | 1077-1085 |
| DOI: | 10.1016/j.compstruc.2010.12.008 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10282918 - Publié(e) le:
05.01.2019 - Modifié(e) le:
05.01.2019
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