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Evaluation of electromechanical properties and field concentrations near electrodes in piezoelectric thick films for MEMS mirrors by simulations and tests

Cette publication a 18 références bibliographiques :

  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10282918
  • Publié(e) le:
    05.01.2019
  • Modifié(e) le:
    05.01.2019
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