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Evaluation of electromechanical properties and field concentrations near electrodes in piezoelectric thick films for MEMS mirrors by simulations and tests

Diese Veröffentlichung enthält 18 Literaturhinweise zu anderen Veröffentlichungen:

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  • Reference-ID
    10282918
  • Veröffentlicht am:
    05.01.2019
  • Geändert am:
    05.01.2019
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