Evaluation of electromechanical properties and field concentrations near electrodes in piezoelectric thick films for MEMS mirrors by simulations and tests
| Autor(en): |
Fumio Narita
Yasuhide Shindo Koji Sato |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Computers & Structures, Juni 2011, n. 11-12, v. 89 |
| Seite(n): | 1077-1085 |
| DOI: | 10.1016/j.compstruc.2010.12.008 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10282918 - Veröffentlicht am:
05.01.2019 - Geändert am:
05.01.2019
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