Accurate measurement of the piezoelectric coefficient of thin films by eliminating the substrate bending effect using spatial scanning laser vibrometry
| Auteur(s): |
Glenn J. T. Leighton
Zhaorong Huang |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, juin 2010, n. 6, v. 19 |
| Page(s): | 065011 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/19/6/065011 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10224194 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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