Surface acoustic wave pressure sensor on ScAlN/3C-SiC/Si layer structure incorporating biomimetic microcantilever: modelling and performance enhancement
| Auteur(s): |
Qiaozhen Zhang
Xiangyong Zhao Feifei Wang Yang Luo Hongwei Mao Tao Han |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, 21 novembre 2020, n. 1, v. 30 |
| Page(s): | 015021 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/abcab1 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10506610 - Publié(e) le:
27.11.2020 - Modifié(e) le:
27.11.2020
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