Surface acoustic wave pressure sensor on ScAlN/3C-SiC/Si layer structure incorporating biomimetic microcantilever: modelling and performance enhancement
| Autor(en): |
Qiaozhen Zhang
Xiangyong Zhao Feifei Wang Yang Luo Hongwei Mao Tao Han |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, 21 November 2020, n. 1, v. 30 |
| Seite(n): | 015021 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/abcab1 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10506610 - Veröffentlicht am:
27.11.2020 - Geändert am:
27.11.2020
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