Study on contamination control in a minienvironment inside clean room for yield enhancement based on particle concentration measurement and airflow CFD simulation
| Auteur(s): |
Kwang-Chul Noh
Hyuk-Soon Kim Myung-Do Oh |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Building and Environment, avril 2010, n. 4, v. 45 |
| Page(s): | 825-831 |
| DOI: | 10.1016/j.buildenv.2009.09.001 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10391242 - Publié(e) le:
26.11.2019 - Modifié(e) le:
26.11.2019
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