Study on contamination control in a minienvironment inside clean room for yield enhancement based on particle concentration measurement and airflow CFD simulation
| Autor(en): |
Kwang-Chul Noh
Hyuk-Soon Kim Myung-Do Oh |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Building and Environment, April 2010, n. 4, v. 45 |
| Seite(n): | 825-831 |
| DOI: | 10.1016/j.buildenv.2009.09.001 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10391242 - Veröffentlicht am:
26.11.2019 - Geändert am:
26.11.2019
Structurae kooperiert mit
