Stress control of piezoelectric ZnO films on silicon substrates
| Auteur(s): |
A. Cimpoiasu
N. M. van der Pers Th. H. de Keyser A. Venema M. J. Vellekoop |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 1996, n. 6, v. 5 |
| Page(s): | 744-750 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/5/6/003 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10214515 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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