Stress control of piezoelectric ZnO films on silicon substrates
| Autor(en): |
A. Cimpoiasu
N. M. van der Pers Th. H. de Keyser A. Venema M. J. Vellekoop |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 1996, n. 6, v. 5 |
| Seite(n): | 744-750 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/5/6/003 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10214515 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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