Review of modeling electrostatically actuated microelectromechanical systems
| Auteur(s): |
R. C. Batra
M. Porfiri D. Spinello |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 2007, n. 6, v. 16 |
| Page(s): | R23-R31 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/16/6/r01 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10223580 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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