Review of modeling electrostatically actuated microelectromechanical systems
| Autor(en): |
R. C. Batra
M. Porfiri D. Spinello |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 2007, n. 6, v. 16 |
| Seite(n): | R23-R31 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/16/6/r01 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10223580 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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