Resonant capacitive MEMS acoustic emission transducers
| Auteur(s): |
D. Ozevin
D. W. Greve I. J. Oppenheim S. P. Pessiki |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, décembre 2006, n. 6, v. 15 |
| Page(s): | 1863-1871 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/15/6/041 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10223318 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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