Resonant capacitive MEMS acoustic emission transducers
Autor(en): |
D. Ozevin
D. W. Greve I. J. Oppenheim S. P. Pessiki |
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Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Dezember 2006, n. 6, v. 15 |
Seite(n): | 1863-1871 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/15/6/041 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10223318 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018