Reliability-based analysis and design optimization of electrostatically actuated MEMS
| Auteur(s): |
M. Allen
|
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Computers & Structures, mai 2004, n. 13-14, v. 82 |
| Page(s): | 1007-1020 |
| DOI: | 10.1016/s0045-7949(04)00079-3 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10281322 - Publié(e) le:
05.01.2019 - Modifié(e) le:
05.01.2019
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