Reliability-based analysis and design optimization of electrostatically actuated MEMS
| Autor(en): |
M. Allen
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|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Computers & Structures, Mai 2004, n. 13-14, v. 82 |
| Seite(n): | 1007-1020 |
| DOI: | 10.1016/s0045-7949(04)00079-3 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10281322 - Veröffentlicht am:
05.01.2019 - Geändert am:
05.01.2019
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