Rapid deposition process for zinc oxide film applications in pyroelectric devices
| Auteur(s): |
Chun-Ching Hsiao
Shih-Yuan Yu |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, octobre 2012, n. 10, v. 21 |
| Page(s): | 105012 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/21/10/105012 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10216917 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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