Rapid deposition process for zinc oxide film applications in pyroelectric devices
Autor(en): |
Chun-Ching Hsiao
Shih-Yuan Yu |
---|---|
Medium: | Fachartikel |
Sprache(n): | Englisch |
Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Oktober 2012, n. 10, v. 21 |
Seite(n): | 105012 |
DOI: | 10.1088/0964-1726/21/10/105012 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10216917 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018