Pre-stressed piezoelectric bimorph micro-actuators based on machined 40 µm PZT thick films: batch scale fabrication and integration with MEMS
| Auteur(s): |
S. A. Wilson
R. P. Jourdain S. Owens |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, août 2010, n. 9, v. 19 |
| Page(s): | 094001 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/19/9/094001 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10224271 - Publié(e) le:
02.12.2018 - Modifié(e) le:
02.12.2018
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