Pre-stressed piezoelectric bimorph micro-actuators based on machined 40 µm PZT thick films: batch scale fabrication and integration with MEMS
| Autor(en): |
S. A. Wilson
R. P. Jourdain S. Owens |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, August 2010, n. 9, v. 19 |
| Seite(n): | 094001 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/19/9/094001 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10224271 - Veröffentlicht am:
02.12.2018 - Geändert am:
02.12.2018
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