Performance and improvement of cleanroom environment control system related to cold-heat offset in clean semiconductor fabs
| Auteur(s): |
Jiawen Yin
Xiaohua Liu Bowen Guan Tao Zhang |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Energy and Buildings, octobre 2020, v. 224 |
| Page(s): | 110294 |
| DOI: | 10.1016/j.enbuild.2020.110294 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10471840 - Publié(e) le:
27.10.2020 - Modifié(e) le:
27.10.2020
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