Performance and improvement of cleanroom environment control system related to cold-heat offset in clean semiconductor fabs
| Autor(en): |
Jiawen Yin
Xiaohua Liu Bowen Guan Tao Zhang |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Energy and Buildings, Oktober 2020, v. 224 |
| Seite(n): | 110294 |
| DOI: | 10.1016/j.enbuild.2020.110294 |
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Datenseite - Reference-ID
10471840 - Veröffentlicht am:
27.10.2020 - Geändert am:
27.10.2020
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