One-step firing for electroded PZT thick films applied to MEMS
| Auteur(s): |
H. Debéda
P. Clément E. Llobet C. Lucat |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, février 2015, n. 2, v. 24 |
| Page(s): | 025020 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/24/2/025020 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10225747 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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