One-step firing for electroded PZT thick films applied to MEMS
| Autor(en): |
H. Debéda
P. Clément E. Llobet C. Lucat |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Februar 2015, n. 2, v. 24 |
| Seite(n): | 025020 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/24/2/025020 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10225747 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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