Nanofabrication processes for single-ion implantation of silicon quantum computer devices
| Auteur(s): |
Rita P. McKinnon
Fay E. Stanley Nancy E. Lumpkin Eric Gauja Linda D. Macks Mladen Mitic Victor Chan Katia Peceros Tilo M. Buehler Andrew S. Dzurak Robert G. Clark Changyi Yang David N. Jamieson Steven D. Prawer |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, octobre 2002, n. 5, v. 11 |
| Page(s): | 735-740 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/11/5/317 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10215888 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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