Nanofabrication processes for single-ion implantation of silicon quantum computer devices
| Autor(en): |
Rita P. McKinnon
Fay E. Stanley Nancy E. Lumpkin Eric Gauja Linda D. Macks Mladen Mitic Victor Chan Katia Peceros Tilo M. Buehler Andrew S. Dzurak Robert G. Clark Changyi Yang David N. Jamieson Steven D. Prawer |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Smart Materials and Structures, Oktober 2002, n. 5, v. 11 |
| Seite(n): | 735-740 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/11/5/317 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10215888 - Veröffentlicht am:
04.12.2018 - Geändert am:
04.12.2018
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