A model for chemically-induced mechanical loading on MEMS
Auteur(s): |
Fabien Amiot
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Médium: | article de revue |
Langue(s): | anglais |
Publié dans: | Journal of Mechanics of Materials and Structures, novembre 2007, n. 9, v. 2 |
Page(s): | 1787-1803 |
DOI: | 10.2140/jomms.2007.2.1787 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10548673 - Publié(e) le:
20.01.2021 - Modifié(e) le:
19.02.2021