A model for chemically-induced mechanical loading on MEMS
| Autor(en): |
Fabien Amiot
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|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Journal of Mechanics of Materials and Structures, November 2007, n. 9, v. 2 |
| Seite(n): | 1787-1803 |
| DOI: | 10.2140/jomms.2007.2.1787 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10548673 - Veröffentlicht am:
20.01.2021 - Geändert am:
19.02.2021
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